上海卓园微电子工程技术有限公司成立于2005年，总部（SEMI SYSTEM TECHNOLOGY，LLC）在美国加州。主要营业范围是经营半导体工艺设备和化合物半导体工艺翻新设备，并进行新技术的研发，提供设备和技术服务。在上海有销售和售后服务部门，也承担货物的进出口业务。

设备种类：

光刻机，扩散炉（立式炉、卧式炉），刻蚀机，离子注入机，溅射台，低压化学气相沉积系统LPCVD（立式炉、卧式炉），常压化学气相沉积系统APCVD，FSI Mercury 清洗机，膜厚仪，固胶机等。

经营范围：

 · 半导体翻新设备及备件    · 货物和技术的进出口业务    · 翻新业务

提供培训：

 · Asml Pas 5500/100D I-Line Stepper，Asml Pas 5000/50 I-Line Stepper 和 Asml  Pas 2500/40 I-Line Stepper 使用操作，维护培训