上海卓园微电子工程技术有限公司成立于2005年，总部（SEMI SYSTEM TECHNOLOGY，LLC）在美国加州。主要营业范围是经营半导体工艺设备和化合物半导体工艺翻新设备，并进行新技术的研发，提供设备和技术服务。在上海有销售和售后服务部门，也承担货物的进出口业务。
设备种类： 光刻机，扩散炉（立式炉、卧式炉），刻蚀机，离子注入机，溅射台，低压化学气相沉积系统LPCVD（立式炉、卧式炉），常压化学气相沉积系统APCVD，FSI Mercury 清洗机，膜厚仪，固胶机等。