ASML也一度面对资金压力。结果是，ASML在2012年7月通过向公司的三大客户开放股份，获得了用于研究EUV技术所需的资金。这个计划被称为“三个火枪手”：英特尔投资33亿欧元，获得了15%的股份；台积电和三星也跟进投资约10%的股份。但是这三家公司只是出资，并没有投票权。实际控制权仍然保留在ASML管理层手中。
2017年，ASML向台积电交付了首台商用EUV光刻机，EUV光刻技术得到了验证。之后，ASML成为了全世界唯一一家能够生产出EUV光刻机的公司，形成了事实上的垄断。
日本光刻机企业是因为美国对技术的限制而没能获得EUV技术，美国企业呢？作者说，原因是当时英尔特作为芯片行业领导者，在高端芯片生产方面一直采取规避风险策略。结果美国光刻设备制造商为了和蕞大客户保持一致，也没有去投入设计高端光刻机。这就把EUV光刻机技术，以及亚洲的客户台积电和三星，都留给了ASML。
简单而言，ASML成为今天光刻机市场的绝对领导者：一个原因是荷兰作为美国的忠实盟国，可以获得EUV光刻技术的使用权；第二个更重要的原因是，ASML一直在进行逆周期投资，使得它在EUV光刻技术上率先实现了商用，并且取得事实上的垄断。
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