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EUV 光刻机流入中国?ASML 强硬回应美国指控

2026-06-25

6 月 19 日彭博社独家爆料,多名美国政府官员对外放风,称美方掌握线索证据,怀疑荷兰光刻机巨头阿斯麦(ASML)一台 EUV 极紫外光刻机,或是配套核心零部件绕过管制流入中国,美国商务部长卢特尼克早在今年 4 月闭门会谈中,当面警告阿斯麦 CEO 傅恪礼,要求企业自查合规问题。

> 先说一下:EUV 是全球唯一能造 7nm 以下高端芯片的设备,美荷早已出台禁令,严禁阿斯麦对华出口;国内可合规采购用于成熟制程的 DUV 光刻机,二者管控标准完全不同。

面对突如其来的指控,阿斯麦第一时间全盘否认,态度十分强硬。企业官方声明明确:从未向中国交付任何 EUV 整机、专属核心模块与配套设备。公司还专门出具文件自证清白,全球现存 314 台在役 EUV、26 台退役设备全部有完整台账,可全程追溯定位,中国境内没有一台 EUV 光刻机。

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很多人疑惑,一台百八十吨、零部件超十万个的巨型设备,怎么可能偷偷转运?

阿斯麦回应的逻辑是:EUV 体积堪比校车,运输、安装、长期运维全程依赖原厂工程师,多国海关、供应链层层留痕,不存在隐秘走私的可能性,所有设备自带序列号追踪系统,随时可远程核查状态。

最关键的矛盾点在于,美方反复声称持有相关证据,却以情报敏感为由,拒绝向阿斯麦、媒体及荷兰政府出示任何实物、物流单据佐证。

此外,荷兰官方同步表态,本国出口许可制度严格,暂未查到违规出口记录。

光刻机翻新 asml光刻机

文章来源于:新浪财经


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