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为什么高端光刻机如此难造?

2026-01-12

在当今人类的工业生产领域,光刻机无疑是人类蕞高技术水准的工业产品之一。

其中蕞高端的EUV光刻机(极紫外线光刻机),全球更是只有荷兰一个国家能生产。所以制造高端光刻机,为什么就这么难呢?

EUV光刻机为什么这么难生产?

EUV光刻机之所以这么难生产,核心原因是其所需的零部件非常多。早在2023年的时候,一台蕞先进的EUV光刻机就包含了超过45万个零部件。到现在光刻机技术又经过了2年发展,所需零部件又有很大的提升。因为EUV光刻机所需零部件多,就带来了2个非常难解决的问题。其一是地球上没有任何一个国家有生产其全部零部件的能力,其二是很难对这些来自全球各国的零部件进行整合。在第一点上,EUV光刻机上这45万个零部件那肯定不是螺丝、铁壳这样的东西,那全是技术含量很高的精细零部件。而45万个精细零部件也就意味着,任何一个国家都很难自己生产出全部的EUV光刻机零部件。

我们上边提到荷兰的阿斯麦公司是全球唯一能生产EUV光刻机的国家,但其实阿斯麦公司也仅能生产EUV光刻机中大约15%的零部件。而剩下大约85%的零部件,则全部由欧盟、美国、加拿大,乃至是中国等主要工业国提供。如果中国要生产EUV光刻机,自然也很难自己全部生产出所有的零部件,中国也需要欧洲、美国以及加拿大方面提供相关零部件。但是现在问题来了,中国现在受到了西方在半导体产业上的制裁,欧洲、美国以及加拿大等国家不会对中国提供EUV光刻机的零部件。

中国要生产EUV光刻机,自然不可能去东南亚国家、非洲国家那买EUV光刻机的零部件。这也就意味着中国要生产EUV光刻机,就需要自己生产出全部的零部件,那其难度自然远超荷兰生产EUV光刻机的难度。至于第二点,生产EUV光刻机的这45万个零部件,来自全球几十个乃至是上百个国家和地区,要把来源于五湖四海的零部件整合到一起还不出差错,其难度可想而知。中国作为全球唯一具备全产业链的国家,都难以独自生产EUV光刻机,那其它国家就更不行了。后发国家生产EUV光刻机,会陷入成本劣势除开技术上的原因,其它国家难以生产EUV光刻机还有成本上的原因。首先西方生产EUV光刻机,那是上面很多零部件都申请了专利的。

后发国家要生产EUV光刻机,就需要绕过这些专利。而能更早申请专利的技术,基本都是更容易实现的技术。后发国家要绕开这些专利,就需要投入更多的科研资源和资金,这会极高的拉高其研发成本,一般的小国家肯定拿不出这些成本。其次,就算后发国家真的搞定了全部技术,生产出了自己的EUV光刻机,那么第二个问题就显现出来了,那就是市场接受度。荷兰阿斯麦公司先造出EUV光刻机,产品先流入市场,那么其研发和建设生产线的成本就被分担得很薄了,人家卖EUV光刻机可以卖得更便宜。后发国家后生产出EUV光刻机,在其研发成本没有收回来的情况下,要么前期使劲补贴亏本卖,要么就只能在前期卖出一个极高的价格。

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